光刻机到底有多牛?
b如光刻机的光线能量、破坏X极高,制程的所有零件、材料,样样挑战人类工艺的极限,甚至因为空气分子的g扰都会影响光线,所以生产过程得在真空环境,而且,温Sh度和压力变化还会影响对焦,所以在机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,JiNg准的测温传感器,更重要的是,需要JiNg确度极高的镜头和光源。
有顶级的镜头和光源,没极致的机械JiNg度,也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片,两者需始终同步,误差在2纳米以下,两个工作台由静到动,加速度跟导弹发S差不多,如此而且,机械的动作得JiNg确到误差仅以兆分之一秒
方兴还记得洪玉当时举了个例子,这种同步X就相当於两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,还不能刻坏了。
光刻机牛不牛?当然牛,即便是方兴这个门外汉也是觉得这种仪器人类怎麽能给它造出来呢?
可人类就是给造出来来了,而且未来还会不断发展,直至量子计算机的诞生……。
不过方兴想的那都是二十一世纪的顶尖光刻机,现在大家面前的光刻机自然不能与那些的“孙子辈”相提并论了,这台光刻机的制程只有微米,未来则是有十几个纳米,两者相差几百倍,要用机械来形容两者的差距,如果现在的光刻机b作是农村手扶拖拉机的发动机,那麽未来的光刻机就是航天飞机的发动机。
“这应该就是制成达到制程毫米级别的刻纹机吧,技术真是先进!”
周明目不转睛地看着感叹道。
他对光刻机还是很了解的,他亲眼看过诺伊斯他们用这东西做过芯片。
光刻机就是在矽片上涂感光胶,用集成电路设计的电路胶片遮盖在上面进行曝光,清除感光部分,露出矽片在上面进行加工最後成型,简单来说,就是用光进行“雕刻”,因为电子元件都是极为小的,最差也是毫米级别,世界上哪里有如此细小的“刻刀”能把这些元件雕刻在晶圆上?
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